Filtry próżniowe oczyszczają zasysane powietrze z wszelkiego rodzaju zanieczyszczeń, które mogłyby zakłócić pracę pomp próżniowych, zaworów próżniowych i układów kontrolno-pomiarowych. Najczęstszym zanieczyszczeniem są cząstki stałe (kurz i pył), które mogą być filtrowane filtrami z wkładami papierowymi, metalowymi lub z tworzywa sztucznego o różnej dokładności filtracji. W przypadku zanieczyszczenia cząstkami wody stosuje się separatory próżniowe.